Pietra per diffusori a camera in metallo poroso ad elevata purezza HENGKO per la filtrazione di gas ad elevata purezza su semiconduttori

I diffusori in metallo poroso HENGKO scaricano rapidamente le camere a vuoto nell'atmosfera, riducendo il tempo di ciclo e aumentando la produttività.I nostri diffusori in acciaio inossidabile forniscono flussi di gas uniformi e laminari senza disturbare le particelle nella camera.Questi diffusori in metallo poroso rimuovono inoltre le particelle superiori a 0,1 µm dal gas in entrata, riducendo al minimo i difetti sul wafer.
I diffusori in acciaio inossidabile possono resistere a pressioni di esercizio più elevate e mantenere l'integrità del prodotto: la durata più lunga del settore.E, per una resistenza alla corrosione superiore al nichel, utilizzare i diffusori ad alta purezza HENGKO.

Applicazioni
I diffusori in metallo poroso HENGKO vengono utilizzati in applicazioni di sfiato su camere di blocco del carico, camere di trasferimento, camere di raffreddamento e camere di processo di interfacce di apparecchiature a semiconduttore (CVD, PVD, Etch, Epi) o altre camere a vuoto

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