Sensore di temperatura e umidità per schema di controllo dell'umidità della temperatura della camera bianca a semiconduttore
Esposizione del prodotto
La temperaturael'umidità dello spazio pulito è determinata principalmente in base ai requisiti del processo, ma a condizione di soddisfare i requisiti del processo, è necessario tenere conto del senso di comfort.Con il miglioramento dei requisiti di pulizia dell'aria, c'è stata una tendenza a requisiti sempre più severi per temperatura e umidità.
Poiché la precisione di elaborazione è sempre più fine, l'intervallo di fluttuazione della temperatura è sempre inferiore.Ad esempio, nel processo di esposizione litografica della produzione di circuiti integrati su larga scala, la differenza del coefficiente di dilatazione termica tra il vetro e il wafer di silicio come materiale della maschera deve essere sempre più piccola.Wafer di silicio diametro 100 um, aumento della temperatura di 1 grado, causerà un'espansione lineare di 0,24 um, quindi deve esserci una temperatura di ± 0,1 gradi, allo stesso tempo il valore di umidità è generalmente basso, perché le persone sudano, il prodotto avrà inquinamento, particolarmente impaurito dall'officina dei semiconduttori di sodio, questo seminario non dovrebbe superare i 25 gradi.
L'umidità elevata causa più problemi.Quando l'umidità relativa supera il 55%, si formerà della rugiada sulla parete del tubo dell'acqua di raffreddamento, che causerà vari incidenti se si verifica in dispositivi o circuiti di precisione.Quando l'umidità relativa è del 50%, è facile arrugginire.Inoltre, quando l'umidità è troppo alta, la polvere attaccata alla superficie del chip di silicio verrà adsorbita chimicamente sulla superficie per resistere alla rimozione.Maggiore è l'umidità relativa, l'adesione è difficile da rimuovere, ma quando l'umidità relativa è inferiore al 30%, le particelle sono facili da adsorbire sulla superficie a causa dell'azione della forza elettrostatica e un gran numero di dispositivi a semiconduttore sono soggetto a rottura.L'intervallo di temperatura ottimale per la produzione di wafer è del 35-45%.
Pertanto, il controllo della temperatura e dell'umidità è particolarmente importante, HENGKO può fornirti una serie disoluzioni di elaborazione personalizzate per trasmettitori di temperatura e umidità!
Sensore di temperatura e umidità per schema di controllo dell'umidità della temperatura della camera bianca a semiconduttore
Non trovi un prodotto che soddisfi le tue esigenze?Contatta il nostro personale di vendita perServizi di personalizzazione OEM/ODM! 
